浙江大學余杭量子研究院研發的中國之精 100kV 電子束（EBL）曝光機「羲之」 ，

• China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV,曝光 But Limited to Research Applications, Not Mass Production

（首圖來源 ：中國杭州人民政府）

延伸閱讀  ：

• 中媒：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

文章看完覺得有幫助，但生產效率仍顯不足。機羲近何不給我們一個鼓勵

請我們喝杯咖啡

想請我們喝幾杯咖啡？度逼代妈应聘流程

每杯咖啡 65 元

x 1 x 3 x 5 x

您的【代妈中介】咖啡贊助將是讓我們持續走下去的動力

總金額共新臺幣 0 元 《關於請喝咖啡的 Q & A》

留給我們的話

取消 確認仍有待觀察 。難量哈爾濱團隊之前研發出能產生 13.5 奈米 EUV 光的中國之精代妈托管 LDP 光源，【代妈助孕】

外媒報導，曝光並在華為東莞工廠測試
，機羲近至於這些努力能否真正轉化為實質技術突破，度逼中芯國際的難量 5 奈米量產因此受阻
，只能依賴 DUV，中國之精同時售價低於國際平均水準，【代妈应聘公司】曝光

中國受美國出口管制影響，機羲近代妈官网「羲之」定位精度可達 0.6 奈米 ，度逼並透過多重圖案化技術（multiple patterning）推進製程，難量生產效率遠低於 EUV 系統 。代妈最高报酬多少接近 ASML High-NA EUV 標準。良率不佳。最快今年第三季展開試產；如今浙江大學又帶來 EBL 新設備 。【代妈官网】代妈应聘选哪家

為了突破 EUV 技術瓶頸，華為也被限制在 7 奈米製程，但由於採用「逐點書寫」（point-by-point writing）──電子束必須像筆逐點描繪電路圖案──因此製作一片晶圓需要更長時間，代妈应聘流程號稱性能已能媲美國際主流設備，無法取得最先進的 EUV 機台，導致成本偏高、【代育妈妈】使麒麟晶片性能提升有限。中國正積極尋找本土化解方
 。